产品详情
高频输出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）
电极尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。
等离子灰化机PDC200/210/510用途
● CSP、BGA、COB基板的等离子清洗
● 去除有机膜和金属氧化膜
● 印刷电路基板的干式清洗
● 界面活性处理
● LED封装
等离子灰化机PDC200/210/510特征
● DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）
● RIE模式
● 均匀性高的电极构造
● 操作简单的触摸屏控制器
等离子灰化机PDC200/210/510内槽
构成图
DP模式
PDC510标配）
PDC200/210选配）
RIE模式
等离子灰化机PDC200/210/510规格
| 型号 |
PDC200 |
PDC210 |
PDC510 |
| 等离子模式 |
RIE（DP模式选配） | ||
| 电极构造 |
平行平板（固定） | ||
| 高频输出 |
Max300W |
Max500W |
|
| 频率 |
13.56MHz |
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| 控制·显示 |
液晶触摸屏 |
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| 反应室尺寸 |
W400×D250×H150mm |
W500×D300×H200mm |
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| 电极尺寸 |
W250×D170mm |
W400×D200mm |
|
| 反应室材质 |
铝 |
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| 反应气体 |
2系统（Ar、O 2 ） |
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| 填充气体 |
N 2 或干燥空气 |
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| 反应气体流量控制 |
流量计 |
聚合控制器 |
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| 真空泵 |
另行选配 |
油泵（约345L/分）标配 |
油泵（约500L/分）标配 |
| 气体导入口 |
反应气体2个、填充气体1个 |
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| 外形尺寸 |
W540×D600×H600mm |
W540×D600×H600mm |
W700×D700×H1285mm |
| 重量 |
约100kg |
约105kg |
约180kg |
| 电源 |
单相 AC100V 10A |
三相AC200V 6A |
三相AC200V 8A |
