产品详情
高频输出 50~500W 反应腔 Φ215×305mm
低温等离子·常规桶型。
PR500：手动控制
PR510：自动触摸屏控制
此款低温等离子灰化机采用自动协调功能及触摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。
用途
●去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆，玻璃基板对应
特征
● 大口径（Φ215mm）石英反应腔
● 小型一体化设计
● 操作简单的触摸屏方式（PR510型）
内槽
硅晶圆灰化状态
等离子灰化机PR500/501规格
| 型号 |
PR500 |
PR510 |
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| 模式 |
DP模式，桶型 |
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| 控制部 |
高频输出功率 |
Max500W |
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| 频率 |
13.56MHz |
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| 同调方式 |
自动协调 |
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| 反应部 |
反应腔 |
石英 Φ215×305mm |
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| 反应气体 |
2系统（O 2 ／CF 4 ） |
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| 控制 |
手动 |
触摸屏自动控制 |
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| 配管材质 |
不锈钢、特氟龙 |
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| 外形尺寸 |
W438×D520×H760mm |
参照规格书 |
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| 重量 |
约60kg |
参照规格书 |
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| 电源 |
单相AC100V 9A |
三相AC200V 8A | |
